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更新時間：2025-10-11
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參數(shù)類別 | 數(shù)值 / 規(guī)格 |
測量技術(shù) | 共聚焦 + 白光干涉 + 多焦面疊加 |
縱向分辨率 | 0.05nm-0.1nm |
橫向分辨率 | 0.12μm-0.16μm |
掃描深度 | 最大 8mm |
工作環(huán)境 | 18℃-28℃，濕度 30%-65% |
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